近期,一则消息在各大视频平台广为传播,称清华大学EUV项目把ASML的光刻机巨大化,实现了光刻机国产化,并表示这个项目已经在雄安新区落地。 对此,中国电子工程设计院有限公司(下称中国电子院)9月18日发声,称该项目并非网传的国产光刻机工厂,而是北京高能同步辐射光源项目(HEPS)。 北京高能同步辐射光源项目坐落于北京怀柔雁栖湖畔,是国家“十三五”重大科技基础设施,它是我国第一台高能量同步辐射光源,也是世界上亮度最高的第四代同步辐射光源之一。该项目早在2019年就开始建设、将于2025年底投入使...
(2024-04-25)